Matrices bidimensionnelles d'elements de micro-optique: Fabrication et caracterisation (French text)

Ce document porte sur la fabrication et la caracterisation de matrices bidimensionnelles d'elements de micro-optique. On vise, entre autres, a produire des matrices de micro-lentilles paraboliques et de micro-axicons. La technique de fabrication consiste a placer un masque periodique dans un systeme de deposition de couches minces par evaporation. Le substrat est entraine par un systeme mecanique afin de lui permettre d'effectuer une trajectoire durant le depot. En ajustant correctement les parametres du systeme et la trajectoire du substrat, il est possible d'obtenir un depot ayant la distribution d'epaisseur desiree.; La caracterisation du profil d'epaisseur des elements fabriques est effectuee a l'aide d'un profilometre. Les resultats experimentaux s'accordent avec la theorie de prediction du profil d'epaisseur qui sera presentee dans ce document. On caracterise egalement les faisceaux generes par un faisceau laser qui traverse les elements produits. Les resultats experimentaux sont valides avec des simulations de propagation de faisceau (BPM). Le systeme de fabrication actuel a permis de produire des matrices de micro-lentilles quasi-paraboliques, ayant des distances focales allant de un a plusieurs millimetres, et des matrices de micro-axicons avec des angles a la base (alpha) variant entre 0.2 et 4 degres.; Les micro-lentilles produites ont ete utilisees pour injecter un faisceau laser dans une fibre optique. L'objectif est d'utiliser une matrice de micro-lentilles pour injecter dans une matrice de fibres optiques. Une autre application des matrices d'elements de micro-optique a ete investiguee; il s'agit du capteur Shack-Hartmann qui permet de reconstruire la phase d'une onde optique. L'utilisation de matrices de micro-lentilles et de micro-axicons dans un capteur de Shack-Hartmann a ete etudiee.