| Il y a un besoin de mesures de vibration, tel que dans l'automobile pour le controle actif du bruit acoustique. Les microsystemes electromecaniques (MEMS) et les technologies sans fils sont des technologies de plus en plus repandues pour l'implementation de capteurs. Ce projet vise donc le developpement de capteurs de deformation en utilisant une solution sans fil pour l'acquisition des mesures de la vibration, avec les technologies MEMS.;Une etude de l'etat de l'art des principes de communication et de transduction a permis de comparer les avantages et inconvenients des approches. Une modelisation analytique faite sur differents types de transduction a conduit a une combinaison optimale faisant intervenir un transducteur type capacitif. Pour atteindre une taille du capteur de l'ordre du centimetre, le systeme travaille a une frequence micro-onde fixee a 24,125 GHz. Un dispositif fiit alors concu, incluant la ligne de transmission avec des discontinuites pour l'identification du capteur ainsi que le transducteur capacitif avec peignes interdigites et ressorts en silicium.;La conception d'un tel capteur permet d'aboutir a une sensibilite de 11ps/c avec une bonne linearite sur une plage de mesure [0..2500muepsilon]. Un procede de microfabrication du transducteur MEMS est aussi propose, ainsi qu'une approche pour la fabrication pour les elements RF sur un substrat d'alumine et leur integration.;Mots-cles : Capteur, deformation, vibration, MEMS, RFID, microfabrication, transmission sans fil.;Ce projet de recherche utilise la technologie des systemes RFID passifs pour la communication, integree avec un transducteur de deformation MEMS pour la mesure. Le capteur consiste d'une antenne reliee a un transducteur MEMS capacitif par l'entremise d'une ligne de transmission avec des discontinuites. Les deformations de la structure sur laquelle le capteur est fixe sont traduites en changement de capacite du transducteur, ce qui engendre un retard dans le signal reflechi par l'antenne. |
